FZM 323 Ölçüm Teknikleri - Ankara Üniversitesi Açık Ders Malzemeleri

advertisement
+
FZM 323 Ölçüm Teknikleri
Bölüm 4 Kuvvet ve Basınç
Ölçümü
Doç. Dr. Eyüp DUMAN
Ankara Üniversitesi Mühendislik Fakültesi
Fizik Mühendisliği Bölümü
+ Kuvvet
Ölçümü
Kuvvet vektörel bir büyüklük ve birimi Newton (N)


F = ma
2#
!
[ N ] = [kg]"m / s $
ü  Kütlesi 1 kg olan bir cisme 1 m/s2’lik ivme kazandıran
kuvvatin büyüklüğü 1 N’dur.
ü  Kuvvet ölçümü için direkt ve dolaylı ölçüm yöntemlerinden
bahsetmek mümkündür.
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
Gerinim ölçer gerinim altında direnci değişen metal ya da
yarıiletken malzemedir. Direnç ile gerinim arasındaki ilişkiyi
direnci etkileyen faktörleri göz önüne alarak bulmak
mümkündür. Uzunluğu l, dik kesit kesit alanı A ve özdirenci ρ
olan bir malzemenin direnci
Uzunluk
l
R=ρ
A
Özdirenç (Ω.m)
Kesit alanı
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
Gerinim altında r, l ve A’nın hepsi değişebilir. Bu durumda
# ∂R &
# ∂R &
# ∂R &
ΔR = % ( Δl + % ( ΔA + % ( Δρ
$ ∂l '
$ ∂A '
$ ∂ρ '
ρ
ρl
l
ΔR = Δl + 2 ΔA + Δρ
A
A
A
elde edilir. Her iki taraf R’ye bölünecek olursa
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
ΔR Δl ΔA Δρ
= −
+
R
l
A
ρ
Şimdi burada gerilim altındaki bir cismin enine ve boyuna
gerinimini dikkate alalım.
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
Şimdi burada gerilim altındaki bir cismin enine ve boyuna
gerinimini dikkate alalım.
Uygulanan dış gerilme ile örneğin boyunda meydana gelen
değişim
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
Uygulanan dış gerilme ile örneğin boyunda meydana gelen
değişim
εΤ
F
li − lo Δl
ε=
=
lo
lo
Possion oranı gerilim uygulanan bir malzemede
uygulanan gerilime karşılık dik yönde meydana gelen
birim şekil değiştirmenin, kuvvet yönünde meydana
gelen birim şekil değiştirmeye oranı olarak tanımlanır.
εL
F
εL
υ =−
εT
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
ΔR Δl ΔA Δρ
= −
+
R
l
A
ρ
Burada yüzey alanı A=wt ise
ΔA Δw Δt
=
+ = 2eT
A
w
t
bulunur. Birim şekil değişimi tanımını kullanırsak
ΔR
Δρ
= eL − 2eT +
R
ρ
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
Poisson oranı tanımını kullanacak olursak
ΔR
Δρ
= eL − 2eT +
R
ρ
ΔR
Δρ
= eL − 2(−υ eL ) +
R
ρ
ΔR
Δρ
= (1+ 2υ )eL +
R
ρ
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
Gerinim ölçerin ölçer katsayısı G
ΔR / R0
G=
e
olarak tanımlanırsa
1 Δρ
G = 1+ 2υ +
e ρ
elde edilir.
F=0 için direnç değeri
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
Malzeme
Ölçer Katsayısı
Konstantan
2
Yumuşak Demir
4.2
Nikel
-12
Nikel-Krom(80/20) 2
Platin
4.8
Platin-Tungsten
4.5
İzoelastik
3.5
Mangan
0.5
Silikon
150
Invar
19
+ Kuvvet
Ölçümü
Gerinim Ölçer
+ Kuvvet
Ölçümü
Piezodirenç Algılayıcı
ü  Bu tür algılayıcı da bir yarıiletkenin uygulanan dış kuvvet ile
direncinin değişimi kullanılır. Uygulanan kuvvet ile
yarıiletken band aralığı ve böylece yük taşıyıcılarının sayısı
değişir.
ΔR
Δl
=k
R
l
+ Kuvvet
Ölçümü
Piezodirenç Algılayıcı
Yarıieletken kullanılmasının nedeni ugulanan dış kuvvet ile
direncin çok hızlı bir şekilde değişmesidir. Yani uygulanan dış
kuvvete duyarlılık çok yüksektir.
ΔR
Δl
=k
R
l
+ Kuvvet
Ölçümü
Piezoelektrik Algılayıcı
ü  Piezoelektrik etki bir kristalde uygulanan dış kuvvet ile örgü
içindeki eksi ve artı yük merkezlerinin ayrılması ve kristalin
dış yüzeylerinde zıt yüklerin ortaya çıkmasıdır.
+ Kuvvet
Ölçümü
Piezoelektrik Algılayıcı
+ Kuvvet
Ölçümü
Piezoelektrik Algılayıcı
ü  Piezoelektrik etki sonucu kristal yüzeyinde oluşan yük
miktarı uygulanan kuvvete bağlıdır:
Q = kpF
Buradaki orantı sabiti kp piezomodul olarak adlandırılır.
Yükün ölçümü ile kuvvet hesaplanabilir.
Q = kpF
Q kpF
U= =
C
C
+ Kuvvet
Ölçümü
Piezoelektrik Algılayıcı
Q = kpF
Q kpF
U= =
C
C
+ Kuvvet
Ölçümü
Piezoelektrik Algılayıcı
ü  Ters piezoelektrik etki ise uygulanan bir dış elektrik alan
içinde kristalde meydana gelen mekanik deformasyondur.
ü  Piezoelektrk kristal değişen
(AC) bir elektrik alan içinde
konulduğunda belli bir
frekensta titreşim
gerçekleştirecektir.
ü  Titreşim frekansı dışarıdan
uygulanan kuvvete bağlı olarak
değişir.
+ Kuvvet
Ölçümü
Titreşen Tel Yöntemi
Titreşen bir telin frekansındaki değişim tespit edilerek
uygulanan kuvvet bulunabilir.
Örnek
Tel
Titreştirici
Rezonans
Yükselteci
Frekans
Sayar
Frekans
Sensörü
+ Kuvvet
Ölçümü
Titreşen Tel Yöntemi
Titreşen bir telin frekansındaki değişim tespit edilerek
uygulanan kuvvet bulunabilir. Gergin bir telin transversal
titreşim frekansı:
1 σ
f=
2l ρ
Telin boyu
Telin ilk gerilmesi
Telin yoğunluğu
+ Kuvvet
Ölçümü
Titreşen Tel Yöntemi
F kuvveti ile gerilmiş bulunan bir telin üzerindeki mekanik
gerilme eğer telin çapı d ise
σ=
ile verilir.
F
π 2
d
4
+ Kuvvet
Ölçümü
Titreşen Tel Yöntemi
Eğer tel başlangıçta Fo kuvveti ile gerilmiş ve titreşiyorsa
başlangıç frekansı
1 σ 1
fo =
=
2l ρ 2l
Fo
1 Fo
=
π 2
d ρ ld πρ
4
ile verilir.
Örnek bir dış F gerilmesine maruz kaldığında
+ Kuvvet
Ölçümü
Titreşen Tel Yöntemi
Örnek bir dış F gerilmesine maruz kaldığında
1
f=
ld
Fo + F
πρ
2
F ! f $
= # & −1
Fo " fo %
Frekansın ölçülmesi ile uygulanan kuvvet tespit edilebilir.
+ Kuvvet
Ölçümü
Manyetoelastik Algılayıcı
Uygulanan kuvvet ile kullanılan manyetik malzemenin
mıknatıslanmasında meydana gelen değişimin detekte
edilmesi ile gerçekleştirilir.
Örnek
Sarım
Manyetik
Alan Çizgileri
+ Kuvvet
Ölçümü
İndüktif Algılayıcı
Bilinmeyen kuvvetin, esnek bir malzemede oluşturduğu
gerinme ölçülerek değeri bulunabilir.
yay
kuvvet
Lineer değişimli fark transförmatörü
+ Kuvvet
Ölçümü
İndüktif Algılayıcı
Bilinmeyen kuvvetin,
esnek bir malzemede
oluşturduğu gerinme
ölçülerek değeri
bulunabilir.
+ Kuvvet
Ölçümü
İndüktif Algılayıcı
Lineer değişimli fark transförmatörü (LVDT)
Bir tane birincil sarım ve birbirine zıt şekilde seri bağlanmış iki özdeş ikincil
sarımdan (A ve B) oluşur.
Ötelemesi algılanacak cisim transformatörün hareketli demir çekirdeğine
bağlanmıştır.
+ Kuvvet
Ölçümü
İndüktif Algılayıcı
Lineer değişimli fark transförmatörü (LVDT)
Birincil sargının girişine verilen
VG = sin ωt
şeklindeki değişken bir potansiyel, indükleme ile
ikincil sarımlarda
Va = Ka sin (ωt – φ) ve Vb = Kb sin (ωt – φ)
şeklinde potansiyel değişimi oluşturur.
Ka ve Kb katsayıları, çekirdeğin konumuna bağlı
olarak birincil sarım ile ikincil sarımlar arasındaki
etkileşime (çiftlenime) bağlıdır.
+ Kuvvet
Ölçümü
İndüktif Algılayıcı
Lineer değişimli fark transförmatörü (LVDT)
Çekirdek merkezi konumdayken Ka = Kb ya da
Va = Vb = K sin (ωt – φ)
İkincil sarımlar birbirlerine zıt yönde seri bağlı
olduklarından çekirdeğin herhangi bir konumunda
Vç = Va - Vb ve çekirdek merkez konumunda iken ise
Vç = 0 olur.
+ Kuvvet
Ölçümü
Dengeleme
Bilinmeyen kuvet uygun bir terazi düzeneği ile değeri bilinen
standart kütlelerin ağırlık kuvveti ile dengelenir
+ Kuvvet
Ölçümü
İvme
Bilinen bir kütleye uygulanan kuvvetin oluşturduğu ivmenin
ölçülmesi ile kuvvet hesaplanabilir
+ Kuvvet
Ölçümü
Sıvı basıncı
Kuvvet, sıvı basıncına dönüştürülerek bu basıncın ölçülmesi
ile belirlenebilir (hidrolik yük hücresi).
+ Basınç
Ölçümü
Basınç fiziksel büyüklük olarak tanımlı bir yüzey alanı
uygulanan kuvvet miktarı olarak tanımlanır:
F
P=
A
Basınç birimi Pa = N/m2 ile verilir. Tarihsel olarak birim olarak
bar ‘da kullanılmaktadır:
1 bar=105 Pa
+ Basınç
Ölçümü
Basınç ölçümü yapılırken hangi tür basınç ölçüldüğü iyi
belirlenmelidir. Genel olarak üç farklı basınçtan bahsedilebilir:
•  Mutlak Basınç:
Referanz olarak seçilen bir basınca göre verilen basınç
değeridir. Referans olarak genel olarak p=0 olan mutlak
vakum alınır.
•  Fark Basıncı
p1 ve p2 gibi iki mutlak basınç arasındaki fark ölçülür.
•  Yüksek Basınç
Ölçülen basıncın, çevre basıncına göre daha yüksek olduğu
durumdur. Çevre basıncı bu durumda referans olarak alınır
ve sıfır olarak seçilir. Böylece çevre basıncına göre fark
basıncı elde edilir.
+ Basınç
Ölçümü
Mekanik Ölçüm
Bourdon tüpü manometre
Bourdon tüpü bir ucu kapalı metal bir tüptür. Tüp içinde basınç
oluştuğunda elastik özellikteki tüp şekil değiştirecek ve mekanik bir dişi
sistem ile gösterge harekete geçecektir. Özellikle yüksek basınç
tüplerinde kullanılır.
Bourdon tüpü
ölçü aralığı : 10 3 - 10mbar
+ Basınç
Ölçümü
Mekanik Ölçüm
Körük basınç ölçme aleti
Esnek metal malzemeden yapılmış bir tarafı kapalı kapalı bir körük basınç
ölçümünde kullanılabilir. Ölçülmek istenen basınç körük içine verildiğinde
körükte meydana gelen mekanik sıkışma miktari ölçülerek basınç bulunabilir.
Körüğün bir tarafı sabit bir basınçta tutularak fark basıncı ölçülebilir. Tüm körük
kapalı ve vakum altında tutularak yani p2=0 yapılarak mutlak basınç ölçülebilir.
+ Basınç
Ölçümü
Elektriksel Ölçüm
Membran basınç ölçme aleti
Metal ya da plastikten yapılmış bir diyaframın basınç altındaki
deformasyonunun değişik yöntemlerle elektriksel sinyale çevrilmesi ile basınç
ölçülebilir. Kullanılacak malzeme yapılacak basınç ölçümünün hangi aralıkta
olacağına, basıncı ölçülecek sıvı ya da gazın cinsine bağlı olarak seçilebilir.
Membran
Membran hareketinin elektriksel sinyale dönüştürülmesi için birçok yöntem
kullanılabilir. En yaygın olanlara bakalım.
+ Basınç
Ölçümü
Elektriksel Ölçüm
Membran basınç ölçme aleti
Gerinim ölçer
+ Basınç
Ölçümü
Elektriksel Ölçüm
Membran basınç ölçme aleti
Piezoelektrik
+ Basınç
Ölçümü
Elektriksel Ölçüm
Membran basınç ölçme aleti
Sığa sensör elementi
Paralel plakalı bir kondensatörde sığa:
A
C =ε
t
Basınç ile membran üzerinde y
derinliğinde ve r yarıçapında bir
çöküntü oluştuğunu düşünelim.
+ Basınç
Ölçümü
Elektriksel Ölçüm
Membran basınç ölçme aleti
Sığa sensör elementi
Buna göre sığadaki artış miktarı
ΔC (1− υ 2 )a 4
=
P
3
C
16Etd
d membran kalınlığı,
a, membran yarıçapı
E elastik modülü
υ Poisson oranı
+ Basınç
Ölçümü
İndükttif Ölçüm
Bir membranın üzerine yerleştirilmiş iki metal plakanın basınç farkı nedeniyle
sarmallara olan uzaklığının değişmesi ve bu durumun sarmallarda yaratacağı
indüktif etki ile basınç ölçülebilir.
Referans Basınç
Ölçülen Basınç
Membran
Sarmallar
Metal plaka
+ Basınç
Ölçümü
Hall Etkisi ile Ölçüm
Yüzeyine dik bir manyetik alan içinde bulunan bir yarı iletken malzemeden bir I
akımı geçirildiğinde akıma dik kenarlarda oluşan yük birikmesi nedeniyle bir
gerilim oluşur. Oluşan gerilime Hall gerilimi adı verilir:
IB
U H = RH
d
Direkt olarak yarıiletken basınca maruz bırakılırsa direnci ve dolayısıyla
üzerinden geçen akım değişir. Ya da üzerine kalıcı mıknatıs yapıştırılmış bir
membran basınca maruz kalırsa manyetik alan değişir bu da gerilimin
değişmesine yol açar
+ Basınç
Ölçümü
Hall Etkisi ile Ölçüm
Direkt olarak yarıiletken basınca maruz bırakılırsa direnci ve dolayısıyla
üzerinden geçen akım değişir. Ya da üzerine kalıcı mıknatıs yapıştırılmış bir
membran basınca maruz kalırsa manyetik alan değişir bu da gerilimin
değişmesine yol açar
IB
U H = RH
d
Mıknatıs
Hall Elementi
P
Membran
+ Basınç
Ölçümü
Optik Ölçüm
Özellikle çok yüksek basınçlarda kullanılabilecek bir yöntemdir.Basıncın
hidrostatik olduğu durumlarda yani basıncın her yönden eşit miktarda
uygulandığı durumlarda kullanılabilir. Safir kristalinin ( Cr+3 katkılandırılmış
Al2O3) fluorenz spektrumunun basınca bağımlılığı kullanılır.
+ Basınç
Ölçümü
Optik Ölçüm
Özellikle çok yüksek basınçlarda kullanılabilecek bir yöntemdir.Basıncın
hidrostatik olduğu durumlarda yani basıncın her yönden eşit miktarda
uygulandığı durumlarda kullanılabilir.
# Δλ (nm)
&
5
P(GPa) = 380.8%(
+1) −1(
λ0
$
'
Basınç değeri 30 GPa kadar
yaklaşık doğrusal bir davranış var.
λo=694.25 nm olduğu kullanılırsa
P(GPa) = 0.2746Δλ (GPa / nm)
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Vakum atmosferik basıncın altındaki basınçtır. Ancak sıklıkla gaz basıncının
hemen hemen hiç olmadığı durumlar için kullanılır.
Temel Bilim Araştırmalarında:
Ultrayüksek Vakum
(UHV)
Yüksek
Vakum
İnce
Vakum
Kaba
Vakum
Kütle spektrometresi
Moleküler Demet Aparatları
İyon kaynakları
Parçacık Hızlandırıcıları
Elektron Mikroskobu
Elektron Kırınımı
Vakumspektrometreleri
Düşük SıcaklıkAraştırmaları
İnce Film Üretimi
Yüzey Fiziği
Plazma Araştırmaları
Nükleer Füzyon
Uzay Simulasyonları
Malzeme Araştırmaları
Elektron Mikroskobu için Örnek Hazırlama
10-13
10-10
10-7
10-3
Basınç (mbar)
100
103
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Endüstriyel Uygulamalarda:
Yüksek
Vakum
UHV
İnce
Vakum
Kaba
Vakum
Metallerin ısıl işlemi
Metallerin eritilmesi
Metal eriyiklerin gazdan arındırılması
Çeliklerin gazdan arındırılması
Elektron demet eritmesi
Elektron demet kaynağı
Boya üretimi
Metallerin toz haline getirilmesi
Yüksek vakumda kristal üretimi
Destilasyon
Sıvıların gazdan arındırılması
Sublimasyon
Boya malzemelerin üretilmesi
Plastiklerin kurutulması
İzolasyon kağıtlarının kurutulması
Yüksek miktarda malzeemelerin kurutulması
Yüksek Eczacılık malzeemelerin kurutulması
Lambaların üretilmesi
Elektron tüplerinin üretilmesi
Florasan tüplerinin üretilmesi
10-10
10-7
10-3
Basınç (mbar)
100
103
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Vakum altında bulunan bir ortamın basıncını ölçmek için şu ana
kadar anlatılan algılayıcılar pek bir işe yaramaz. Bunun nedeni
düşük basınç nedeniyle çıkış sinyalinin çok çok düşük kalmasıdır.
Bununla beraber bu algılayıcılar da çok düşük olmayan basınçların
ölçümünde kullanılabilir (Mekanik vakum ölçerler)
Gerçek anlamda vakum algılayıcıları şu ana kadar anlatılan
algılayıcılardan farklı prensipte çalışırlar.
Vakum algılayıcıları ortamdaki gaz moleküllerinin yoğunluğu ile
ilişkili fiziksel özelliklere dayalı olarak çalışır. Bu özelikler
•  Isısal iletkenlik
•  Vizkozite
•  İonizasyon….
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Pirani Vakummetresi
Basıncı gazın ısısal iletkenliğini kullanarak ölçer. Basitçe ısıtılan bir plakanın ya da
telin kaybettiği ısı miktarı çevresindeki gazın basıncına bağlıdır. Kaybedilen ısı
miktarının ölçülmesi ile basınç hesaplanabilir.
Metal bir tel ya da plaka ısıtıldığında üç yolla
ısıyı kaybedebilir:
a.  Işıma yoluyla (Basınçtan bağımsız):QR
b.  Telin uçlarının bağlı olduğu kısımlara
ısı aktarımı (basınçtan bağımsız):QE
c.  Çevresindeki gaza ısıyı aktararak
(Basınca bağlı): Qgas
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Pirani Vakummetresi
Basıncı gazın ısısal iletkenliğini kullanarak ölçer. Basitçe ısıtılan bir plakanın ya da
telin kaybettiği ısı miktarı çevresindeki gazın basıncına bağlıdır. Kaybedilen ısı
miktarının ölçülmesi ile basınç hesaplanabilir.
Metal bir tel ya da plaka ısıtıldığında üç yolla
ısıyı kaybedebilir:
a.  Işıma yoluyla (Basınçtan bağımsız)
(III No’lu bölgede baskın)
b.  Telin uçlarının bağlı olduğu kısımlara
ısı aktarımı (basınçtan bağımsız)
(I No’lu bölgede baskın)
c.  Çevresindeki gaza ısıyı aktararak
(Basınca bağlı): Qgas
(II No’lu bölge)
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Pirani Vakummetresi
Prinai vakumetresi çapı 5-20 µm arasında, uzunluğu 10-50 mm olan W ya da Ni bir
telin bir vakum tüpü içinde ısıtılması ile oluşturulur. İki türlü kullanımı vardır:
•  Tel sabit sıcaklıkta tututulur:
Teli sabit bir sıcaklıkta tutmak için
t e l d e n a k ı m g e ç i r i l i r . Te l i n
çevresindeki gaz basıncı düştükçe
yani gazın yoğunluğu azaldıkça
telden ısı aktarımı daha zor hale
gelecektir. Teli sabit sıcaklıkta tutmak
için verilmesi gereken güç böylece
basınca bağlı olacaktır.
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Pirani Vakummetresi
Prinai vakumetresi çapı 5-20 µm arasında, uzunluğu 10-50 mm olan W ya Ni bir
telin bir vakum tüpü içinde ısıtılması ile oluşturulur. İki türlü kullanımı vardır:
•  Telin sıcaklığı direkt olarak ölçülür:
Termogerilim
Bu yöntemde telin sıcaklığı bir ısıl çift ya da
Pt direnç termometresi yardımıyla ölçülür.
Isıl çift ile okunan gerilim telin sıcaklığına
bağlıdır. Telin sıcaklığı ise dolaylı olarak
çevresindeki gaz basıncına bağlıdır.
Ölçüm Tüpü
Referans tüp
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Pirani Vakummetresi
Prinai vakumetresi çapı 5-20 µm arasında, uzunluğu 10-50 mm olan W ya Ni bir
telin bir vakum tüpü içinde ısıtılması ile oluşturulur. İki türlü kullanımı vardır:
•  Telin sıcaklığı direkt olarak ölçülür:
Ya da vakum tüpü içindeki tel bir köprü
devresinin bir direnç elemanı olarak alınır.
Telin çevresindeki basıncın değişmesi telin
sıcaklığını bu da telin direncini değiştirir
ve böylece telin sıcaklığı ölçürek basınç
değeri belirlenebilir.
P
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Pirani Vakummetresi
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
İyonizasyon Vakummetresi
Bu yöntemde basitçe hızlandırılan elektronlar tarafından iyonize hale getirilen gaz
molekülleri bir iyon toplayıcı yardımıyla toplanır. Oluşan akımın şiddeti gaz
moleküllerinin ortamdaki yoğunluğuna yani basınca bağlıdır.
Elektron akısı
+
+
+
+
+
İyon Akımı
İyon toplayıcı
Sıcak ve soğuk iyonizasyon vakummetresi olmak üzere iki tipi vardır.
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Sıcak İyonizasyon Vakummetresi
İyon Akımı
IT
K
A
Filament
• 
• 
• 
• 
Filamentten elektron salınımı
Anod ve katot arasında hızlanma
Gaz moleküllerini iyonlaştırma
Iyon toplayıcı ile oluşan iyon akımı
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Sıcak İyonizasyon Vakummetresi
Dezavantajları
•  Anoda çarpan elektronlar X-ışını oluşumuna neden olur. İyon toplayıcı
tarafından soğurulan bu x-ışını yeni elektronların oluşmasına bu da ölçülen
basıncın gerçek basınca göre daha yüksek çıkmasına neden olur.
•  Isınan filament çevresine ısı yayar. Bu da çevresinde malzemelerden
gaz çıkışına neden olur. Bu da basıncı arttırır.
•  İyon toplayıcıya hızlandırılan iyonlar toplayıcı tarafından soğurulabilir.
Bu dezavantlajlar yeni bir dizayn ile engellenebilir.
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Sıcak İyonizasyon Vakummetresi
Bayard Alpert Dizaynı
İyon Toplayıcı
Filament
Filament
Kafes
Kafes
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Sıcak İyonizasyon Vakummetresi
Bayard Alpert Dizaynı
•  Toplayıcı yüzeyinin küçülmesi ile
x-ışını soğurulması azaltılmış olur.
•  İyon toplayıcı uygun malzemelerden
seçilerek iyonları soğurulması
azatılabilir.
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Soğuk İyonizasyon Vakummetresi
Plaka şeklindeki iki katot arasında bulunan anode içinde gaz yük boşalması ile
ortamda bulunan elektron çarpışmaları ile sağlanır. Bu çarpışmaların sayısının
artması için elektronlar bir manyetik alan içinde spiral bir yörüngede hareket ederler.
_
+
A
N
K
K
A
N
+ Basınç
Ölçümü
Vakum Sensörleri
Viskozite Vakummetresi
Kalıcı
Mıknatıs
Manyetik alan içinde havada dönen
çelik bir topun dönme frekansı
çevresindeki gazın yoğunluğu ile
yani basınç ile değişir.
Pick-up
Coil
Top
Pick-up
Coil
Vakum
Kalıcı
Mıknatıs
Download